? ? ? ? 羽杰科技MLJ-2508D是一款專為半導(dǎo)體及精密電子行業(yè)研發(fā)的高效光刻膠清洗劑,采用創(chuàng)新配方與技術(shù),適用于正負(fù)光刻膠的快速剝離與殘留物清除。其核心成分融合PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)、飽和環(huán)醚及高分子螯合劑,結(jié)合氮雜冠醚添加劑,顯著提升清洗效率與工藝兼容性,助力晶圓制造與微電子加工的精細(xì)化生產(chǎn)。
核心優(yōu)勢與參數(shù)解析
1. 超強清洗效率?
? ?清洗時間縮短至≤3分鐘,光刻膠去除率達99.8%以上,顯著提升產(chǎn)線效率。
2. 廣譜兼容性
? ?支持正膠與負(fù)膠雙重清洗需求,適配ArF、KrF、i線等多種光刻工藝,覆蓋半導(dǎo)體、顯示面板等領(lǐng)域。
3. 低溫高效配方
? ?在30℃~50℃低溫環(huán)境下即可激活反應(yīng),減少能耗并避免高溫對基材的熱損傷,節(jié)能率達40%。
4. 環(huán)保低毒設(shè)計?
? ?采用無鹵素、低VOC配方,符合歐盟RoHS及REACH標(biāo)準(zhǔn),廢水處理成本降低50%,支持循環(huán)回用技術(shù)。
5. 精準(zhǔn)殘留控制??
? ?金屬離子殘留量<1ppb,顆粒污染物控制至≤0.1μm,滿足高端制程的潔凈度要求。
6. 材料兼容性卓越??
? ?對硅片、金屬層(Cu/Al)、氧化物等基材無腐蝕,表面粗糙度變化<0.2nm,保障器件可靠性。
7. 智能化操作支持??
? ? 可與自動化清洗設(shè)備無縫集成,支持pH實時監(jiān)控(范圍2.5~5.5)與流量調(diào)節(jié),降低人工干預(yù)需求。
8. 長周期穩(wěn)定性?
? ? 溶液壽命長達6個月,開封后有效期30天,減少頻繁更換成本。
9. 適用于高潔凈度車間環(huán)境。
10. 綜合成本優(yōu)勢?
? ? 相比傳統(tǒng)清洗劑,用量減少30%,綜合處理成本降低60%,助力企業(yè)實現(xiàn)降本增效。
技術(shù)參數(shù)一覽表?
| 參數(shù)項? ? ? ? ? ? | 數(shù)值/特性? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? |??
| 主要成分? ? ? ? ?| PGMEA、四氫呋喃、氮雜冠醚 |??
| pH值范圍? ? ? ? | 2.5~5.5(可調(diào))? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? |??
| 適用溫度? ? ? ? ? | 30℃~50℃? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? |??
| 清洗時間? ? ? ? ? | ≤3分鐘? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? |??
| 殘留顆粒尺寸? ?| ≤0.1μm? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ?|??
| 金屬離子殘留? ?| <1ppb? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? |??
| 包裝規(guī)格? ? ? ? ? | 20L/桶(定制化供應(yīng))? ? ? ? ?? ? |??
| 儲存條件? ? ? ? ? | 陰涼避光,5℃~25℃? ? ?? ? ? ? ? ?|??
應(yīng)用場景與客戶價值
MLJ-2508D廣泛應(yīng)用于晶圓制造、MEMS器件封裝、光學(xué)元件加工等領(lǐng)域,幫助客戶:??
提升良品率至98%+,縮短生產(chǎn)周期;??
減少廢水處理壓力,實現(xiàn)70%中水回用率;??
通過ISO 14001環(huán)保認(rèn)證,增強企業(yè)綠色形象。
羽杰科技承諾
以“質(zhì)量鑄精品,服務(wù)贏客戶”為宗旨,提供24小時技術(shù)支持與定制化解決方案,助力客戶邁向智能化、綠色化制造未來。??
(注:部分參數(shù)參考行業(yè)通用標(biāo)準(zhǔn)與實驗數(shù)據(jù),具體以實際產(chǎn)品手冊為準(zhǔn)。)??
本文標(biāo)題:羽杰科技光刻膠清洗劑MLJ-2508D:精準(zhǔn)高效,賦能半導(dǎo)體制造新標(biāo)準(zhǔn)
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